产品特点＆应用： |
11K~400K温度范围，（10K的闭循环制冷机制冷）；
4探针点测系统，最多可定制8探针点测系统；
低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜；
应用于IV/C-V测试、RF测试；
应用于纳米级电子器件测试、微机电测试。 |
产品参数： |
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载物台 |
载物台尺寸33mm；(多种尺寸可选)
采用铜材质，平整度：小于5µm；
沉镍镀层，能增强其电性能；
三同轴屏蔽载物台设计，屏蔽温度传感器和加温热电阻在工作时产生的电学干扰；
接地载物台设计，信号导通，可将样品座电信号接地；
专用的样品固定夹具，良好的弹性性能使其在超低温或超高温的测试下都能固定住待测样品。 |
真空系统 |
合金真空腔体，腔体厚度6mm，腔体极限真空度优于 4.2×10-4 Pa，漏率小于：1.3×10-10 Pa.M3/s；
使用分子泵组，配备DN40快速法兰接头，低温测试无结露结霜；
真空焊接波纹管，三维弯曲大于25mm，配套无氧铜垫圈；
真空抽气管为304材质金属波纹管，优良的机械弯曲性能，防止真空泵震动传导到真空腔内样品台上；
观察舷窗使用4英寸高红外透射率石英玻璃；
腔体内部配置防辐射屏，配置高可见光透射防辐射窗和屏蔽帘；
腔体带八个探针臂接口，其中六个接探针，同时配置真空泵接驳的DN40的抽气口，快速破真空的进气口，配置两个16pin的电信法兰接口。 |
温度控制系统 |
温度范围：11K~400K；
温控精度：温控精度优于0.1℃，连续变温无节点。
温度稳定性：±50mK；
温度控制方式：两个双通道控温仪，分别对防辐射屏、样品台
和探针臂进行升温操作、降温操作以及监测温度；
制冷方式：采用10K闭循环制冷机制冷；
加热方式：在防辐射屏和样品台上安装硅二极管温度计和电阻丝加热模块来进行加热操作。 |
显微镜光学系统 |
变倍范围: 0.58~7X；
目镜：N.A.；
物镜：MPlan APO 1X（工作距离82mm）；
同轴照明光路，同时配备了轴向光和环形光；
1X摄像头接口；
调焦行程大于50mm，包含粗细调功能，细调精度：1μm；
光学分辨率：≤3.5μm。 |
显微镜移动基座 |
xy行程大于50mmx50mm，分辨率优于±1um；
显微镜调焦支架行程大于50mm，分辨率优于1um；
镜体摆臂快速移出功能。 |
探针座 |
配置4个直流探针座，定位分辨率可达±1um；
配置真空内外带guard保护结构的直流探针，通过高真空电信接口triaxial连接，系统工作漏电流＜100FA；
直流探针座x-y-z轴行程距离为：50mmx25mmx25mm；(可定制行程)
光纤臂：配备一个光纤臂，其X-Y-Z行程范围为25mm，定位精度1um。 |
探针臂夹具 |
用于真空内探针的夹持固定(可选热沉功能，分别在防辐射屏和样品台上热沉)；
三轴接头真空穿墙匹配；
真空内guard功能；
最小漏电精度：<100FA(Triax接头@100pA Current Range of -200V ~ 200V)；
直流探针臂频率≥10MHz；
在其中的一个探针臂上安装了硅二极管温度计，用于监控探针的温度。 |
系统平台 |
高刚性钢结构系统平台；
防震系统平台（可选配）。 |
系统尺寸 |
根据系统载物台尺寸及配置参数确定。 |
